SEM掃描電鏡8個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題以及解決辦法的介紹

掃描電鏡可以說(shuō)是科研必備“神器”。SEM掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。無(wú)論是觀察納米材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)，還是礦石的微觀縫隙，紋路，甚至是蘭花種子的細(xì)胞結(jié)構(gòu)等，掃描電鏡都是相對(duì)的優(yōu)選。它的主要原理就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

Q1、氣凝膠樣品怎么制備比較好？

答：根據(jù)不同類型的氣凝膠，參考粉末樣品制備方法，注意的是優(yōu)選液體導(dǎo)電膠固定樣品。

Q2、什么樣的樣品可以液氮脆斷？

答：液氮脆斷法主要用于高分子材料斷面觀察，高分子材料有一定的韌性，直接剪短，斷面就不夠清晰，但放入液氮中，可以實(shí)現(xiàn)脆性斷裂。其實(shí)在測(cè)試中，有一些細(xì)柱狀的樣品，比如螺釘，用液氮輔助淬斷也有很好效果。

Q3、磁性粉末如何消磁？

磁性粉末用蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡可以不用消磁，參照常規(guī)粉末樣品制備。若是一些塊狀的強(qiáng)磁性材料可以通過(guò)加熱或者外加個(gè)磁場(chǎng)來(lái)進(jìn)行消磁，市場(chǎng)有專門(mén)的消磁器。

Q4、在拍攝部分樣品SEM掃描電鏡圖片中能看到明顯的電子束黑斑，這如何去除界面里的電子束斑呢？

答：電子束黑斑有可能是樣品比較臟，發(fā)生了積碳，建議制好的樣品注意保存環(huán)境或者及時(shí)測(cè)試。

Q5、同一個(gè)樣品為什么不同儀器上拍攝出的效果不同呢？

答：若拍照參數(shù)設(shè)置相近的話，效果不會(huì)有太大不同；只有不同儀器在拍攝時(shí)，參數(shù)（探頭、電壓、束流等）設(shè)置不同，具體哪些參數(shù)的影響，需要針對(duì)拍攝結(jié)果來(lái)分析。

Q6、se2是不是加速電壓小，照片清晰度要好一些？

答：如果只考慮電壓的話，電壓越高，分辨率和信噪比就會(huì)更好，更清晰；你說(shuō)的電壓小，圖像越清晰，應(yīng)該是針對(duì)有表面細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)的樣品，在較低電壓下，可以看到樣品的表面細(xì)節(jié)，高電壓下，作用區(qū)比較深?？床坏郊?xì)節(jié)。

Q7、多大的放大倍數(shù)可以看到金顆粒？

答：鍍膜顆粒度受靶材、樣品和鍍膜儀（真空度、工作原理等）的影響，對(duì)于Au靶材的話，一般放大倍數(shù)在幾萬(wàn)倍下就可以看到的。

Q8、噴金，噴鉑，噴碳的具體應(yīng)用場(chǎng)景是哪些？

答：Au，Pt，Cr等金屬靶材，可以增加導(dǎo)電性，增加二次電子和背散射電子的產(chǎn)生，有較好的信噪比，也可以減少電子束的穿透，目的是獲取較高質(zhì)量的圖像。

C靶材，適用于EDS、EBSD、WDS等成分的分析。