SEM掃描電鏡維護保養的內容的介紹（一）

電子光學系統清洗的一般原則：

掃描電鏡電子光學鏡筒的某些部位可能會觀察到有不同程度的污染跡象，例如電子槍亮度減低，電子透鏡的象散加大，這需要操作者判斷污染的部位和程度。拆卸這些部位，朝向電子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和拋光。清潔的電鏡，電子束亮度Zgao，圖象信噪比較好，象散較小，象散器位置接近零位。

1、清洗頻率

清洗SEM掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件，其中包括：使用時間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。

每次更換燈絲時，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必清洗陽極和陽極帽。當見到明顯的污染及圖象象散過大時，就應清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過，還有明顯的污染和象散跡象，則應拆下襯管進行清洗。

一般油擴散泵真空系統，每三個月就要徹底清洗一次。渦輪分子泵真空系統，正常使用，每年徹底清洗一次。

2、清洗部位

需要強調指出的是物鏡下極靴孔，如想清洗，須由有經驗的廠家維修工程師來清洗，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴重影響掃描電鏡的性能。在發現SEM掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后，就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定，一般由“70/20/10”規則判斷。

①帶有離子泵發射室的，當發現存在污染時，70%的幾率是物鏡光闌污染。20%的幾率是電子槍需要清洗。10%的幾率是鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

②不帶離子泵發射室的當發現存在污染時，70%出在電子槍區域。20%出在物鏡光闌。10%為鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

二、物鏡光闌的清洗和維護

所有的鉑金光闌都可用酒精燈燃燒清洗(也可在鍍膜機鉬舟上燒)。光闌要輕拿輕放，只能用干凈的鑷子夾住其邊緣，不要用鑷子劃傷光闌表面，也不要夾持光闌孔。

1、從SEM掃描電鏡上拆下光闌，放進一只鉑金光闌加熱器具內。每次只加熱一只光闌。沒有加熱器具的，用鑷子夾住光闌的邊緣，放在酒精燈的火焰上方。

2、在酒精燈上燒半分種，將光闌加熱到鮮紅色，不要燒至白色，因為過分加熱將損害光闌。還要小心如果光闌被燒成了看來象“鱷魚皮”(表面呈顆粒狀)，就得放棄這只光闌再換一只新的了。

物鏡光闌一定要定期從鏡筒中拆下進行清洗。清洗頻率不一定，它要根據掃描電鏡的使用次數和樣品等決定。象散增加或圖象噪音增大直接地表示出光闌變臟。

三、電子槍的清洗和維護

SEM掃描電鏡鎢燈絲的壽命取決于合適的電流飽和點、細致的燈絲加熱、電子槍真空度和發射束流。如果燈絲在操作期間燒斷，觀察管上的圖象信號將消失，發射束流將降到零，并且燈絲燒斷，燈絲綠色指示滅。

1、拆卸燈絲并清洗燈絲組件：用氨水將燈絲組件柵帽光闌附近的揮發物擦拭干凈，然后再用酒精擦一遍。注意：如果燈絲組件用的時間較長，除了柵帽光闌附近，其它部位也較臟，將整個組件全部拆下清洗，然后再重新組裝。

2、燈絲重裝及燈絲調中調節燈絲到柵極帽光闌的距離，并使得燈絲正好在柵極光闌ZX。注意：燈絲對中可以使用低倍體視光學顯微鏡。目前大多數燈絲采用工廠預對中燈絲，標準化呼喚，不必進行調整。

3、將裝好的電子槍組件重新安放到發射室上，注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物，注意：如果新燈絲的飽和點發射束流比理論值高或者低，可能燈絲的距離有錯誤。

在清洗完掃描電鏡電子槍部件時，要多抽一些時間真空，要保持環境的干燥和清潔。因為這是電子束產生的源頭。當清洗電子槍部件時不要試圖走捷徑;不要立即為新燈絲加電流，要等到適當的高真空;不要彎折電子槍高壓電纜;不能指望鎢燈絲柵帽中的鉭柵帽光闌會持久。