臺式掃描電鏡針對于磁性材料制樣方法的詳細介紹

在之前的文章中我們都已經詳細介紹過臺式掃描電鏡了。這期我們講用sem臺式掃描電鏡觀察磁性材料制樣方法，一般都需要先退磁，再做分析，其主要原因如下：

①一般臺式掃描電鏡的透鏡和掃描線圈都是通過有序地調控其流經線圈的電流產生磁場而進行工作的，若樣品本身帶有磁性，會對電子光學系統的工作造成干擾。若樣品磁性強，圖像會模糊，襯度和分辨力都會變得很差，消像散器也起不了作用，則像散無法消除。

②磁性樣品會使電子圖像產生變形、扭曲，而且還會影響放大倍率和微觀測量的精度，但對某些鐵氧體材料還是可以直接放進樣品倉中做分析，樣品先要粘牢、緊固，確保可靠：其次工作距離要>10mm、能>15mm，用低加速電壓、小束流，因為鐵氧體的導電性較差。

③在樣品臺上個別粘貼不牢靠的磁性粉末顆粒，易被吸附到物鏡下級靴孔隙或者電子光學通路中，這些敏感部位一旦被污染，電子光學的性能立即遭受破壞，只能拆卸清理和清洗。這種清理維護相對一般的清洗鏡筒要麻煩得多，因這種有磁性的小顆粒很難被發現和清除。若確實要做這種樣品的分析，建議先考慮退磁，然后可考慮燒成陶瓷塊并經清洗后再做分析，否則會給臺式掃描鏡簡帶來災難性的后果。

④磁性材料也會影響EDS和WDS的分析，當對某個點進行分析時，容易造成打偏、打歪等難定位的現象，也會造成參數的識別錯誤，從而使定量分析誤差明顯加大。有些sem臺式掃描電鏡廠家的資料介紹，其物鏡是無漏磁的物鏡級靴，可用于磁性樣品的觀察和EBSD分析。如有的采用半內透鏡的設計，漏磁比較小，但要用于分析磁性樣品也要非常小心謹慎。