影響掃描電鏡分辨率的因素

掃描電鏡有多項性能和技術指標，例如：分辨率、放大倍率誤差、低倍畸變、束流穩定性、樣品污染率、真空度、換樣品抽真空時間、開機到工作抽真空時間、樣品臺位移距離等，這些均有量化指標。其中，掃描電鏡的分辨率、放大倍數等參數又是選購參考的重要點。

sem掃描電鏡分辨率重要性

分辨率是掃描電鏡很重要指標，它反映了儀器的綜合性能。各種類型的掃描電鏡分辨率不同，導致了儀器進入做微觀領域的尺度有差異，這也是不同檔次掃描電鏡的賣點。用戶很關心這個指標是否符合要求。對于廠家工程師來說，拍攝分辨率照片也是一項技術挑戰，要把掃描電鏡各個環節調整到很好的狀態，選用幾乎苛刻的操作條件，反復拍照，直到拿出滿意照片為止。

影響掃描電鏡分辨率因素：電子源，燈絲是電子源的提供者，也是掃描電鏡很重要的部件，燈絲所發射電子的密度、束斑尺寸、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率。

1、鎢燈絲

鎢燈絲具有結構簡單、束流大、真空要求低、易更換等優點，但是由于其束流密度小、信噪比差、化學穩定性差、且使用壽命短(80-100h)，因此，在使用過程中需要高頻率的更換燈絲，以確保掃描電鏡保持較為穩定的分辨率。

 2、CeB6燈絲

CeB6燈絲亮度為1000A/cm2，是鎢燈絲亮度的10倍，因此具有更高的分辨率。CeB6燈絲具有更好的抗干擾能力，工作溫度為1800K，遠低于鎢燈絲工作溫度(2800K)，燈絲揮發量相對較小，因此使用壽命基本都可達到1500h，如果再加以規范管理，使用壽命可進一步延長。

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