我們在使用SEM掃描電鏡的過程中會遇到常見問題、原因及解決方案分享

掃描電鏡的原理：由電子槍發出的電子束在電場的作用下加速，經過三個透鏡聚焦成直徑為5nm或更細的電子束。該電子束在樣品表面進行逐行掃描，激發樣品產生出各種物理信號。信號探測器收集這些并按順序、成比例地轉換為視頻信號。通過對其中某種信號的撿測，視頻放大和信號處理，*終在顯示屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖象。

以下我們在使用SEM掃描電鏡的過程中會遇到常見問題、原因及解決方案。

Q1：乙醇分散制樣拍形貌，顯示基底有一層膜，原因是什么呢？

 答： 形貌顯示的類似于膜的原因是乙醇分散后再噴Pt導致的。

Q2：樣品中應該不含某元素，但EDS測出來的數據中該元素占比很大，會是什么原因導致的呢？有可能是機器自動識別時識別了錯誤峰嗎？

答： 如果該元素的兩個特征曲線均出現了，且沒有重疊，元素存在的可能性很大；應該考慮是否樣品原料有污染。

Q3: 掃描電鏡拍樣品截面需注意哪些？如何制樣？

答：對于脆性薄片如硅片、玻璃鍍膜片等可直接掰斷或敲斷；對于高分子聚合物，有一定塑性和韌性，需要進行以下處理：

方法1：液氮脆斷，將樣品在液氮下脆化處理后瞬間折斷，可得到較為光滑平整的斷面;       

方法2：離子切割，利用離子束拋光儀，通過離子束轟擊樣品截面，去除墨痕、碎屑和加工應變層;       

方法3：冷凍超薄切片，超薄切片得到的樣品，更接近樣品固有狀態結構，適用于韌性很強目硬度很大的樣品，如聚丙烯材料。

Q4：EDS測試中，mapping中產生噪點的原因？

答：mapping不是掃一次，幾分鐘后出結果，而是從上到下一遍一遍一直掃，會根據反饋的信號，呈現每一次掃到的該元素，隨著時間的增長，這些點越來越多，形成一個可以大體描述分布的面。但是有幾個問題：     

一、如果該元素含量很低，每一次掃描到的真實點很少，數分鐘后疊加出來的點是不真實;     

二、能譜有一定的穿透性，表面沒有該元素，但是往下一定厚度時，會形成噪點。     

三、樣品穩定性，在打mapping時，電子束打在樣品表面，一次mapping掃描時間在3min以上，如果是高倍，樣品微米級的震動都會產生很明顯的誤差。 

Q5: SEM-EDS測試輕元素為什么不準？

答：輕元素主要包括Be、B、C、N、O和F（H、He、Li測不了），其特征X射線能量很低，低能量X射線容易被基底吸收，根據統計原埋進行的定量分析將更加困難。

Q6：測試EDS時為什么有些元素明明含量為0，測mapping卻有顏色？

答：以定量數據為準，mapping的元素分布圖中可能只是噪點。