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SEM掃描電鏡塊狀樣品如何正確制備

日期:2025-08-15 10:04:54 瀏覽次數:95

掃描電鏡是材料科學、生物醫學等領域重要的表征工具,而塊狀樣品的制備質量直接影響成像效果。本文從實際操作出發,結合導電處理、固定技巧及常見問題解析,為您提供一套完整的制備方案。

一、制備前的核心準備

1.1 明確觀察目標

表面形貌:需保留樣品原始結構,避免過度處理。

成分分析:需確保樣品干燥且無污染,避免干擾能譜(EDS)結果。

特殊需求:如磁性樣品需提前消磁,生物樣品需快速固定以防止形態變化。

臺式掃描電鏡ZEM15.jpg

1.2 工具與材料清單

類別

工具/材料

用途

切割

精密切割機、玻璃刀

將大塊樣品裁至SEM樣品臺尺寸(通常≤1cm3)

清洗

超聲清洗器、PBS緩沖液

去除表面污染物(如油脂、灰塵)

固定

2.5%戊二醛、四氧化鋨(OsO?)

生物樣品前固定與后固定

脫水

乙醇梯度(30%-****)

逐步替換水分,防止干燥變形

導電

離子濺射儀、金/鉑靶材

提升非導電樣品導電性,厚度5-20nm

固定

導電膠帶、碳膠、銀膠

確保樣品與樣品臺良好接觸

二、分步制備流程

2.1 樣品切割與清洗

切割:

使用精密切割機將塊狀樣品裁至≤1cm3,避免機械損傷。

生物組織建議采用“灌流清洗法”:通過動脈灌注生理鹽水清除血液,再取材。

清洗:

超聲清洗:頻率≤40kHz,時間≤5分鐘,避免樣品破碎。

化學清洗:丙酮/乙醇擦拭,去除氧化層或油脂。

2.2 固定與脫水

前固定:

生物樣品:2.5%戊二醛(pH7.2-7.4)浸泡2小時,4℃保存。

非生物樣品:跳過此步,直接進入脫水。

脫水:

梯度乙醇脫水:30%→50%→70%→80%→90%→****(每次15分鐘)。

臨界點干燥:液態CO?替代乙醇,避免表面塌陷(尤其適用于柔性材料)。

2.3 導電處理與固定

導電涂層:

真空濺射鍍膜:厚度5-20nm,金(Au)或鉑(Pt)適用于高分辨率成像,碳(C)適用于能譜分析。

液體導電膠:半浸沒固定粉末樣品,提升導電性。

樣品固定:

導電膠帶法:適用于金屬等導電樣品,粘貼后輕壓確保無氣泡。

碳膠/銀膠加固:非導電樣品需在四周刷膠,防止電荷積累。

三、關鍵注意事項

3.1 樣品尺寸與形態

尺寸限制:樣品高度≤1.5cm(物鏡調節范圍),平面面積≤1cm2。

形狀優化:尖銳邊緣需打磨,避免電子束散射干擾成像。

3.2 干燥與污染控制

徹底干燥:生物樣品建議臨界點干燥,非生物樣品可60℃烘箱干燥。

無塵操作:佩戴無粉手套,使用鑷子取樣,避免汗液/油脂污染。

3.3 特殊樣品處理

磁性樣品:提前消磁,或使用專用樣品臺(如新威研選SEM氣氛保護臺)。

低電壓模式:對高分子/生物樣品,降低加速電壓(1-5kV)減少輻射損傷。

四、常見問題與解決方案

問題

原因

解決方案

圖像模糊/閃爍

電荷積累(非導電樣品)

重新鍍膜,厚度增至15-20nm

樣品表面塌陷

干燥不徹底或方法不當

改用臨界點干燥或冷凍干燥

噴鍍層不均勻

濺射時間不足或角度單一

延長鍍膜時間,旋轉樣品臺多角度噴鍍

能譜(EDS)信號弱

噴鍍層過厚或樣品表面不平

拋光樣品表面,降低鍍層厚度至5-10nm

樣品漂移

固定不牢或樣品臺振動

使用導電膠加固,檢查樣品臺穩定性

正確制備SEM掃描電鏡塊狀樣品需兼顧操作規范與細節優化。通過嚴格控制切割、固定、導電處理等環節,并針對性解決電荷積累、干燥變形等常見問題,可顯著提升成像質量。本文提供的分步指南與優化建議,旨在為科研工作者與技術工程師提供實用參考。

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